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METHOD FOR FORMING CAPACITOR CAPABLE OF INCREASING EFFECTIVE AREA OF CAPACITOR USING SIDEWALL POLYMER IN SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号
KR100486237(B1)
申请公布日期
2005.04.21
申请号
KR19980011526
申请日期
1998.04.01
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, DONG YUN
分类号
H01L27/108
主分类号
H01L27/108
代理机构
代理人
主权项
地址
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