Verfahren zur Steuerung der Behandlung eines Kristalls mit einer Flüssigkeit

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Steuerung der Behandlung eines Kristalls mit einer Flüssigkeit, bei dem von einem Bildaufnahmesystem ein Bildsignal empfangen wird, das ein momentanes Bild eines von einem elektrisch steuerbaren Mikrodosiersystem betropften Kristalls mit Flüssigkeitsumgebung repräsentiert; das Bildsignal verarbeitet und aus dem Bildsignal die momentane Fläche des Kristalls mit Flüssigkeitsumgebung in dem Gesamtbild ermittelt wird; die momentane Fläche mit einem vorgegebenen Sollwert verglichen wird und bei Abweichung der Fläche vom Sollwert ein Korrekturtropfensteuersignal ermittelt und zu dem Mikrodosiersystem gesendet wird, wobei das Korrekturtropfensignal so ausgebildet ist, daß es eine korrigierte Frequenz und/oder Größe und/oder Form der von dem Mikrodosiersystem auf den Kristall mit Flüssigkeitsumgebung aufzubringenden Tropfen repräsentiert, die so gewählt ist bzw. sind, daß die Abweichung vom Sollwert minimiert wird.