发明名称
摘要
申请公布号 JP2005510015(A) 申请公布日期 2005.04.14
申请号 JP20030544802 申请日期 2002.11.15
申请人 发明人
分类号 H05B33/10;C23C14/12;C23C14/56;H01L21/20;H01L51/50;H01L51/56;(IPC1-7):H05B33/10;H05B33/14 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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