| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von Filmen aus amorphem Silicium und einen solchen Film verwendende Photohalbleiter-Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4027236(B4) |
申请公布日期 |
2005.03.31 |
| 申请号 |
DE19904027236 |
申请日期 |
1990.08.29 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO., LTD. |
发明人 |
IWAMOTO, MASAYUKI;MINAMI, KOJI;YAMAOKI, TOSHIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L31/0376;H01L31/062;H01L31/075;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/037;H01L31/18;H01L21/203 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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