评价半导体涂布薄膜用溶液的方法

摘要

本发明提供一种评价半导体涂布薄膜用溶液的方法，该方法包括：当半导体涂布薄膜用溶液从平均孔径大小为0.01至0.4μm的过滤器过滤时，测量所述溶液的堵塞度，和估计由所述溶液形成的涂布薄膜的质量，其中，所述堵塞度由下式定义：堵塞度＝V2/V1，V1：在溶液在固定的压力和温度下过滤的情况下，滤出液在初始标准点的线速度值(每1cm²过滤器的过滤速度(g/cm²·min))，V2：在从初始标准点流出规定重量的滤出液时，滤出液的线速度值。根据本方法，可以在没有实际形成涂布薄膜的条件下计算出涂布薄膜的质量，可以由此评价涂布薄膜用溶液。

主权项

1.一种评价半导体涂布薄膜用溶液的方法，该方法包括：当半导体涂布薄膜用溶液从平均孔径大小为0.01至0.4μm的过滤器过滤时，测量所述溶液的堵塞度，和估计由所述溶液形成的涂布薄膜的质量，其中，所述堵塞度由下式定义：堵塞度＝V2/V1V1：在溶液在固定的压力和温度下过滤的情况下，滤出液在初始标准点的线速度值(每1cm2过滤器的过滤速度(g/cm2·min))，V2：在从初始标准点流出规定重量的滤出液时，滤出液的线速度值。