一种氧敏传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种氧敏传感器的制备方法，其步骤为：(1)利用三氯化钛以及掺杂一定比例五氯化铌、五氯化钽为源物质；(2)采用溶胶-凝胶方法，添加过氧化氢强氧化剂和DBS表面包覆剂，在50℃-70℃水浴下搅拌直至形成凝胶，保温3-5小时；(3)用松油醇调制以上纳米粉体，均匀涂抹在附有刷式电极瓷管上；(4)将它置于马弗炉中，在380℃-450℃下1小时烧结之后，制备了TiO₂基掺杂五氯化铌、五氯化钽纳米粉体，附上加热丝制成厚膜型气敏元件，电加热老化10天。本发明制备二氧化钛基纳米掺铌、钽的纳米半导体厚模型氧敏传感器，以实现低工作温度、高灵敏、响应快、高稳定性的氧气敏感特性，本发明与现有的氧敏粉体成分、制备方法及气敏元件的结构均不同。

主权项

1.一种氧敏传感器的制备方法，其特征在于：其步骤为：(1)利用三氯化钛掺杂7-15％摩尔的五氯化铌或三氯化钛掺杂1-8％摩尔五氯化钽为源物质，在60℃水浴下充分搅拌；(2)采用溶胶—凝胶方法，在过程中添加过氧化氢强氧化剂和DBS表面包覆剂，在60℃水浴下搅拌直至形成凝胶，继续保温3-5小时；(3)将以上凝胶置于真空干燥箱70-90℃，干燥4-24小时；(4)将干燥后的粉体研磨2小时，在350℃，预烧1小时，以去除残余的有机物，形成预烧后的纳米粉体；(5)用松油醇调制经预烧后的纳米粉体，均匀涂抹在附有刷式电极的瓷管上；(6)将上述涂有纳米粉体的瓷管置于马弗炉中，在380℃-450℃下1-5小时烧结之后，附上加热丝制成厚膜型气敏元件，电加热老化10天后，最终形成氧敏传感器。