投影式光学系统

摘要

本发明揭示一种投影式光学系统，用以将被置于一物件平面上之掩模(mask)的图案，投影至被置于一像平面上之基体上。投影式光学系统系被安排使得被形成在掩模上之图案的中间像，被形成在一第三反射表面与一第四反射表面之间。依据第三反射表面的特殊形状，或依据特殊装设，可在无须增大整体系统之尺寸下，确保高精确度之投影。