制造及清洁具有纹理表面之腔室组件的方法

摘要

一种清洁一基材制程腔室组件的方法，该方法包含：形成一具有纹理表面之组件、以及以一加压喷射流体喷扫该组件表面。该喷射流体被加压至足以令所有微粒自该纹理表面实质脱附之高压。本发明方法可被应用以令微粒自该等以电磁能量束扫瞄及喷粒形成之纹理表面脱附。本发明方法亦可被应用以自该涂层组件之纹理表面移除附着之涂层微粒。