包覆下电极之电容式湿度感测器

摘要

一种包覆下电极之电容式湿度感测器，系在一基体利用微机电制程在基体上沉积(Deposition)一金属薄膜下电极，在此下电极之上再覆盖一感湿膜，其材质为高分子材料，如聚醯亚胺(Poly-Imide)、苯环丁烯(BCB，Benzocyclobutene)，在感湿膜上在沉积一左上电极与右上电极，左上电极与右上电极并未相连，且此左上电极与一右上电极为栅栏状电极。经由以上之结构可形成一电容式湿度感测器，首先其特点为感湿膜为整个覆盖下电极，使下电极并无与外界接触，因此，隔绝下电极与氧接触之机会，所以不会有氧化之问题。

主权项

1.一种包覆下电极之电容式湿度感测器,包含:一基体,在该基体上有一下电极,在该下电极之上覆盖一感湿膜,且该感湿膜完全包覆所述下电极,在该感湿膜之上覆盖一左上电极与一右上电极。2.依据申请专利范围第1项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该下电极之材质为金属。3.依据申请专利范围第2项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该金属为铜。4.依据申请专利范围第2项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该金属为铝。5.依据申请专利范围第1项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该感湿膜为高分子材料。6.依据申请专利范围第5项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该高分子材料为聚醯亚胺。7.依据申请专利范围第5项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该高分子材料为苯环丁烯。8.依据申请专利范围第1项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该左上电极与右上电极之材质为金属。9.依据申请专利范围第8项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该金属为金。10.依据申请专利范围第8项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该金属为白金。11.依据申请专利范围第1项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该基体材质为矽。12.依据申请专利范围第1项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该基体材质为玻璃。13.依据申请专利范围第1项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该基体材质为陶瓷。14.依据申请专利范围第1项所述之包覆下电极之电容式湿度感测器,其中该左上电极与该右上电极为栅栏状。图式简单说明:第一图系显示习用之湿度感测器结构图。第二图系显示本创作之立体图。第三图系显示本创作之结构图。第四图(a)~(i)系显示本创作之制程步骤图。