自动档案输入之遮罩量测方法

摘要

一种自动档案输入之遮罩量测方法，该方法包含以下步骤：藉由一标的产生装置，以产生一标的产生资料，该标的产生资料包括取样点座标与重要大小标的值以及作为量测参考用之量测点，之后，将该标的产生资料给予命名一档案名称，并将标的产生资料存入至一档案伺服器；将该档案名称指定至一执行卡；将该执行卡上之该档案名称，分别输入至一遮罩量测装置以及一个人电脑中；藉由该遮罩量测装置，根据该档案名称，自档案伺服器处取得该些标的产生资料；藉由该个人电脑，取得该取样点座标与重要大小标的值；藉由遮罩量测装置，量测一待测遮罩，以量测得一原始重要大小值，并将该值送至档案伺服器；藉由该个人电脑自档案伺服器取得该原始重要大小值，并予以排序，而经适当各式化以回传至该档案伺服器，以便分析处理；藉由该个人电脑执行待测遮罩之重要大小的相关计算，并写回至该执行卡。

主权项

1.一种自动档案输入之遮罩量测方法,该方法包含以下步骤:藉由一标的产生装置,以产生一标的产生资料,该标的产生资料包括取样点座标与重要大小标的値以及作为量测参考用之量测点,之后,将该标的产生资料给予命名一档案名称,并将标的产生资料存入至一档案伺服器;将该档案名称指定至一执行卡;将该执行卡上之该档案名称,分别输入至一遮罩量测装置以及一个人电脑中;藉由该遮罩量测装置,根据该档案名称,自档案伺服器处取得该些标的产生资料;藉由该个人电脑,取得该取样点座标与重要大小标的値;藉由遮罩量测装置,量测一待测遮罩,以量测得一原始重要大小値,并将该値送至档案伺服器;藉由该个人电脑自档案伺服器取得该原始重要大小値,并予以排序,而经适当各式化以回传至该档案伺服器,以便分析处理;藉由该个人电脑执行待测遮罩之重要大小的相关计算,并写回至该执行卡。2.如申请专利范围第1项之方法,其中该标的产生装置系为工具制作工作站。3.如申请专利范围第1项之方法,其中该遮罩量测装置系为LWM250UV装置。4.如申请专利范围第1项之方法,其中该标的产生资料包括取样点座标、遮罩名称、重要大小标的値以及标记有量测点而作为量测参考用之位元图档案。图式简单说明:图1系本发明之自动档案输入之遮罩量测方法之细部动作图。图2系图1动作图之另一实施例。