发明名称 | 正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图形的方法 | ||
摘要 | 提供了一种正型树脂组合物,它含有:(A)一种树脂组分,它在主链内含有(甲基)丙烯酸酯衍生的结构单元,并在酯基侧链部分结合了含有可被酸离解的、抑制溶解的基团的多环基团,因此在酸的作用下增加了它在碱中的溶解度;(B)一种能在曝光时产生酸的产酸剂组分;及(C)有机溶剂,其中:组分(A)含有甲基丙烯酸酯衍生的结构单元和丙烯酸酯衍生的结构单元二者。依据这种抗蚀剂组合物,可形成一种在蚀刻时几乎不出现表面的粗糙和线边缘粗糙,且还提供出色的分辨能力和聚焦范围深度广的抗蚀图形。 | ||
申请公布号 | CN1592870A | 申请公布日期 | 2005.03.09 |
申请号 | CN02823454.5 | 申请日期 | 2002.11.29 |
申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 岩井武;久保田尚孝;藤村悟史;宫入美和;羽田英夫 |
分类号 | G03F7/039;H01L21/027 | 主分类号 | G03F7/039 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春琦 |
主权项 | 1.一种正型树脂组合物,它含有:(A)一种树脂组分,树脂组分主链内含有(甲基)丙烯酸酯衍生的结构单元,在酯基侧链部分结合了包含可被酸离解的、抑制溶解的基团的多环基团,由此在酸作用下它在碱中的溶解度增加了;(B)一种曝光时产生酸的产酸剂组分;及(C)一种有机溶剂(C);其中:所述组分(A)含有甲基丙烯酸酯衍生的结构单元和丙烯酸酯衍生的结构单元二者。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |