发明名称 薄膜晶体管结构
摘要 本发明提供一种薄膜晶体管结构,其包含有一衬底,一半导体层以及一栅极设于该衬底上。其中该半导体层包含有一沟道区,两轻掺杂漏极以及两源极/漏极,该栅极与该等轻掺杂漏极相对称,且该栅极的两侧壁与其相邻的各该轻掺杂漏极相堆叠,该等轻掺杂漏极与该等源极/漏极间的界面未与该栅极相堆叠,该等源极/漏极也未与该栅极相堆叠。
申请公布号 CN1591905A 申请公布日期 2005.03.09
申请号 CN03154940.3 申请日期 2003.08.25
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 陈坤宏
分类号 H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种薄膜晶体管结构,其包含有:一衬底;一半导体层设于该衬底上,该半导体层包含有一沟道区,两轻掺杂漏极,以及两源极/漏极;以及一栅极设于该衬底上,该栅极与该等轻掺杂漏极相对称,且该栅极的两侧壁与其相邻的各该轻掺杂漏极相堆叠,该等轻掺杂漏极与该等源极/漏极间的界面未与该栅极相堆叠,该等源极/漏极也未与该栅极相堆叠。
地址 台湾省新竹市