发明名称 An additive composition, a slurry composition including the additive composition, and a method for polishing an object using the slurry composition
摘要
申请公布号 KR100475457(B1) 申请公布日期 2005.03.08
申请号 KR20020023087 申请日期 2002.04.26
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;(IPC1-7):C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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