| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR HANDLING SUBSTRATES BY MEANS OF A SELF-LEVELLING VACUUM SYSTEM IN EPITAXIAL INDUCTION REACTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1224691(B1) |
申请公布日期 |
2005.03.02 |
| 申请号 |
EP19990962242 |
申请日期 |
1999.12.03 |
| 申请人 |
LPE SPA |
发明人 |
OGLIARI, VINCENZO;POZZETTI, VITTORIO;PRETI, FRANCO |
| 分类号 |
B25J15/06;B25J9/10;B25J17/02;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B25J15/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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