整合快闪记忆体与高电压元件之制造方法

摘要

一种整合快闪记忆体与高电压元件之制造方法，可使快闪记忆体之氧化层制造与高电压元件之氧化层制造整合于同一制程中。首先，使快闪记忆体位于浮置闸极与控制闸极间的氧化层长成一厚度。接着，形成高电压元件之闸极氧化层，并且在高电压元件之闸极氧化层的形成步骤中，也同时增厚之前所形成的氧化层至所需厚度。如此可避免快闪记忆体区需遭受另外的热制程而影响其品质。