发明名称 便于处理薄膜物之方法及固定器
摘要 一种包括一固定器之装置(10),该固定器包括至少一内部构件(14)与至少一外部构件(16)。该固定器(10)被构形成可用于固定一位于该至少一内部构件(14)与该至少一外部构件(16)间之薄膜物(12)。可进一步加工该被固定之薄膜物(12)而得到一已加工之薄膜物。此外,固定于该固定器(10)中之该已加工之薄膜物可再经额外之加工步骤,以生产出已加工之物品。本文所述之该装置(10)与方法对于生产各种诸如微电子装置与光电装置等之物品皆是有用的。
申请公布号 TW200509289 申请公布日期 2005.03.01
申请号 TW093120787 申请日期 2004.07.12
申请人 奇异电器公司 发明人 阿灵 瑞杰 道格罗;保罗 安伦 马可尼里;马可 史哈皮肯斯;颜敏
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国