| 发明名称 | 用于曝光基板的曝光装置以及曝光面板的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于曝光基板的曝光装置。曝光装置包括一承载机构、一第一能量装置及一第二能量装置。承载机构包括多个承载元件，用以承载基板。第一能量装置与第二能量装置分别设置于承载机构的上方及下方。 | ||
| 申请公布号 | CN1648729A | 申请公布日期 | 2005.08.03 |
| 申请号 | CN200510055121.7 | 申请日期 | 2005.03.17 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 廖英智 |
| 分类号 | G02F1/133;G03F7/20;H01L21/027 | 主分类号 | G02F1/133 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陈小雯;李晓舒 |
| 主权项 | 1.一种用于曝光基板的曝光装置，包括：一承载机构，包括多个承载元件，用以承载该基板；一第一能量装置；以及一第二能量装置，其中该第一能量装置与该第二能量装置分别设置于该承载机构的上方及下方。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||