发明名称 光记录媒体之反射膜及形成反射膜用银合金溅镀靶
摘要 本发明系提供一种光记录光碟(CD-RW、DVD-RAM)等的光记录媒体之反射膜以及反射膜形成用溅镀靶。于包含In:0.1~2.0质量%之Ag合金,再与(甲)包含Ca:0.005~0.1质量%组成的银合金、(乙)包含W、Ta、Mo、Nb、V、Zr中1种或2种以上共计0.005~0.1质量%组成的银合金、(丙)包含选自Tb、Gd、Dy、Nd、Ce、La、Pr、Y中1种或2种以上共计0.05~1.0质量%组成的银合金、(丁)Au、Pd、Pt、Cu、Mn、Sb、Mg、Bi、Ga、Ge、Sn中1种或2种以上共计0.1~1.0质量%组成的银合金所构成之银合金反射膜,以及该反射膜形成用溅镀靶。
申请公布号 TW200508407 申请公布日期 2005.03.01
申请号 TW093125032 申请日期 2004.08.19
申请人 三菱综合材料股份有限公司 发明人 三岛昭史;小见山昌三
分类号 C23C14/22;H01L21/28;G11B7/24 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本