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发明名称 TEMPERATURGEREGELTE BEGASUNG VON DEIONISIERTEM WASSER ZUR MEGASCHALLREINIGUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DE60017385(D1) 申请公布日期 2005.02.17
申请号 DE20006017385 申请日期 2000.04.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., HOPEWELL JUNCTION 发明人 KUDELKA, STEPHAN;RATH, DAVID
分类号 C11D7/02;B08B3/04;B08B3/12;C11D7/18;C11D17/08;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/12;H01L21/00 主分类号 C11D7/02
代理机构 代理人
主权项
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