真空压合装置

摘要

一种真空压合装置，用以结合一上玻璃基板与一下玻璃基板，其包含一上基座、一下基座、两平台、及一操作室。该下基座相对于该上基座。该两平台分别地配置于该上基座及该下基座上，且具有至少一个静电垫块(Electrostatic Chuck；ESC)与至少一个黏着垫块。该操作室容纳该上基座、该下基座、及该两平台。