半导体制造设备、监控处理装置以及监控处理方法

摘要

一种监控处理装置，包括一主机、一延伸软管、一影像撷取装置以及一吸附装置。该延伸软管系连接于该主机。该影像撷取装置系设置于该延伸软管之一端部上，并且系藉由该延伸软管而连接于该主机。该吸附装置系设置于该影像撷取装置之下。