| 摘要 |
本发明揭示一种用于半导体制造设备之感受器及安装感受器之半导体制造设备。增强用以向感受器陶瓷加热器组块内部及／或表面上形成的导电组件供电之电极的耐久性，向半导体制造设备提供一感受器，其中电极间短路事故得到防止，且提供一其中安装该感受器之半导体制造设备。将用以向陶瓷加热器组块内部及／或表面上形成的导电组件供电之该等电极形成为单式物品，有助于改善电极耐用性。此外，设置一管件以包围各电极，有助于防止短路事故。将惰性气体引入该等管件内部可进一步改善该等电极的可靠性。藉由将此种感受器安装于半导体制造设备中，可提供具有优异生产力及产量之半导体制造设备。 |
