表面检查方法及表面检查装置

摘要

本发明的课题是针对于在表面检查装置中，将散射光分解成复数光路并加以检测时，减低或解决依存于光束所入射的被检查面的光强度分布的不均一的检测光强度的不均一性。本发明用以解决手段是将各光路Ch别地所检测的分解散射光强度，不依存于照射域220的各领域间的受光强度分布的不均一地，调整相对应于空间地分解来自照射域220的各领域的散射光强度并加以检测的光强度检测手段50的各分解光路Ch的各放大器52的放大率，俾规格化分解散射光强度。