标线用基板及其制造方法,与光罩胚板及其制造方法

摘要

一种标线(reticle)用基板，其系使用于装设于步进机上使用之标线之形成、且具有互相对向之主表面、侧面，及设置在该主表面及侧面之间的倒角面之标线用基板，其特征为：在前述之基板主表面中，从主表面及倒角面之境界内侧3毫米之领域以外之平坦度测定领域中之平坦度系为0.5微米以下，并且主表面及倒角面之境界中自基准面之最大高度做成－1微米以上0微米以下。