发明名称 使用表面活性剂薄膜之雷射加工技术
摘要 一种欲藉雷射加工之工作件表面系藉界面活性剂薄膜保护防止使用雷射束加工期间所产生的碎屑,该保护作用系经由降低雷射加工产生的碎屑对该表面之黏着性而达成。界面活性剂薄膜较佳随后连同沉积于薄膜上的碎屑一起被去除。
申请公布号 TW200507096 申请公布日期 2005.02.16
申请号 TW093116148 申请日期 2004.06.04
申请人 艾克斯席尔科技有限公司 发明人 吉尔兰 大卫
分类号 H01L21/304;B23K26/14 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 爱尔兰