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发明名称
摘要
申请公布号 JP3617878(B2) 申请公布日期 2005.02.09
申请号 JP19960208630 申请日期 1996.08.07
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;C08F16/14;C08F20/10;C08F20/52;C08F216/14;C08F220/40;C08F220/54;C08F290/00;C08F299/00;C09D5/00;C09D129/00;C09D129/10;C09D133/02;C09D133/04;C09D133/06;C09D133/24;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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