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发明名称
摘要
申请公布号
JP3619149(B2)
申请公布日期
2005.02.09
申请号
JP20000374420
申请日期
2000.12.08
申请人
发明人
分类号
B08B7/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
B08B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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