工件的供给装置和收容装置

摘要

提供一种从作为收容部的托板取出作为工件的基板以供给下游侧的作业装置的、作为供给装置的装料装置；以及从上游侧的作业装置接收基板并将其收容在托板上的、作为工件收容装置的卸料装置。在这些装置中，以叠置状态保持托板的第一、第二叠放部被沿Y方向并列配置。作为收容部移动机构的工作台使取出的托板沿Y方向移动。第一收容部移送机构取出叠置在第一叠放部中的收容部交给收容部移动机构。第二收容部移送机构将从收容部移动机构接收的收容部叠置在第二叠放部中。作为工件移送机构的移送头从工作台上的托板上取出工件使其沿X方向移动，并交给下游侧的作业装置。

主权项

1.一种供给装置，该供给装置是将工件取出供给下游侧的作业装置的供给装置，其具备：以叠置状态保持以平面规则排列的方式收容有上述工件的收容部的第一叠放部；相对于上述第一叠放部沿第一方向并列配置的、以叠置状态保持无上述工件的空的上述收容部的第二叠放部；沿上述第一方向在上述第一叠放部和上述第二叠放部的上方移动、使上述收容部在上述第一叠放部和上述第二叠放部之间移动的收容部移动机构；取出叠置在上述第一叠放部中的上述收容部然后交给上述收容部移动机构的第一收容部移送机构；将从上述收容部移动机构接收到的上述收容部叠置在上述第二叠放部上的第二收容部移送机构；以及从呈被保持在上述收容部移动机构上的状态的上述收容部中将工件取出、使其沿着与上述第一方向垂直的第二方向移动、然后交给下游侧的作业装置的工件移送机构。