晶圆载具之定位防震装置

摘要

本发明系提供一种晶圆载具之定位防震装置，该定位防震装置主要系包括：设于基座上的下定位部；设于晶圆载具底端的上定位部；定位件，设置于基座与晶圆载具之间，其底端具有可组定于下定位部之下组接端，顶端则具有可组定于上定位部之上组接端；可将定位件容置于其中的座壳，其顶、底端分别抵止于晶圆载具以及基座，座壳顶、底端分别可供定位件之上、下组接端穿出者；藉由该定位防震装置的设置，能够将晶圆载具稳固组定于基座上，达到定位、防震之目的，为其用途者。