用于热处理室之圆柱

摘要

本发明之圆柱包括一核心与一覆盖住大部分核心之涂覆物。该核心为热阻抗或热绝缘材质。该核心具有内侧壁与外侧壁，以及相对之第一与第二端。该外侧壁较该内侧壁距离该圆柱之一纵轴更远。该第一端与一支撑一半导体基材之边缘环接触。该涂覆物实质上对于红外线为不穿透，且覆盖住该核心之所有外表面，除了该第一端之外。该核心较佳为石英或陶瓷材质，而该涂覆物较佳为多晶矽材质。