发明名称 Anordnung zur Erfassung von Strahlen
摘要
申请公布号 CH515510(A) 申请公布日期 1971.11.15
申请号 CH19700015972 申请日期 1970.10.29
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DR. PAUL,BERNT,DIPL.-PHYS.
分类号 G01J1/02;G01B11/00;G01D5/26;G01J5/02;G01J5/28;H01L31/06;H01L37/04;(IPC1-7):G01S3/78 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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