Sensoreinrichtung mit magnetostriktivem Kraftsensor

摘要

Die Sensoreinrichtung zur Detektion einer Kraft (sigma¶z¶) enthält ein TMR-Kraftsensorelement (2) mit einer magnetischen Detektionsschicht (6) aus einem Material mit einem Magnetostriktionskoeffizienten lambda >= DOLLAR I1 eine magnetisch härtere Referenzschicht (4) und eine zwischen diesen Schichten befindliche Tunnelbarrierenschicht (5). In der Detektionsschicht (6) ist eine Ausgangsmagnetisierung (M2) eingestellt, die gegenüber der in die Kraftrichtung weisenden Magnetisierung (M1) der Referenzschicht (4) einen Winkel phi von ungleich 0 DEG einschließt und so unter Einwirkung der Kraft (sigma¶z¶) aus ihrer Ausgangslage (1A) gedreht wird.