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发明名称 Deformable mirror with passive and active actuators
摘要
申请公布号 EP1378782(A3) 申请公布日期 2005.01.26
申请号 EP20030014937 申请日期 2003.07.01
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 WATSON, DOUGLAS C
分类号 G21K1/06;G02B5/10;G02B7/182;G02B7/198;G02B26/06;G02B26/08;G03F7/20;G21K5/02;H01L21/027;(IPC1-7):G02B26/08;G02B7/185 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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