电子束记录装置及电子束记录方法

摘要

提供一种用电子束记录装置曝光穴时，形成穴的前端和后端的形状一致、均匀形状的穴的电子束记录装置。电子束记录装置具有：发射电子束的电子射线源；根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极；遮蔽上述电子束的遮蔽板；载置上述抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台。电子束记录装置经遮蔽板的通过位置使上述电子束通过，在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽，在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案。电压控制部控制外加到控制电极上的电压，使电子束从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的第1速度和从通过位置移动到第2遮蔽位置的第2速度几乎相等。

主权项

1.一种电子束记录装置，是具有：发射电子束的电子射线源；根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极；遮蔽上述电子束的遮蔽板；载置抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台，使上述电子束通过经遮蔽板的通过位置，在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽，在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案的电子束记录装置；其特征在于：电压控制部控制外加到上述控制电极上的上述电压，使上述电子束从第1遮蔽位置向上述通过位置移动的第1速度和从上述通过位置向第2遮蔽位置移动的第2速度相等。