质量放大的压电生物芯片

摘要

本发明公开了一种质量放大的压电生物芯片。所述的发明将压电声波技术应用于生物芯片，开辟了除荧光检测、放射性标记检测、金银染等常规检测方法以外的生物芯片检测新领域。其通过纳米质量特性，放大原较弱的BAW生物信号，尤其是中小分子量的分析物，扩大效率至少千万倍，使BAW可投入实用。此外，本发明还同时公开了芯片的阵列连接方法。

主权项

1、一种压电体声波(BAW)传感器，包括压电晶体基片和上下表面的传感电极。其特征在于：完整的BAW传感器至少一个。上下表面传感电极皆由半导体电子芯片的金属工艺形成。每个电极使用至少一次光刻工艺成形，并与其它部件密配。电极可用金、银以及其它一切与生物兼容的导电材料直接制成；或用其它金属导电材料制成，然后再覆盖与生物兼容的导电或绝缘材料实现生物兼容性。覆盖绝缘材料的目的也可以是用来实现在液相检测时的电极绝缘。