气化方法及气化器

摘要

提供一种气化方式以及气化器，可以显着的减少成膜后之膜中所散布之微粒子的数量。其特征在于：使原料溶液与加热之载气相接触后，搬送至下一阶段。其特征在于，包括：气化室；载气通路，与该气化室相连通；原料溶液导入口，用以将原料溶液导入该通路；以及加热装置，用以加热该载气。