三维测定装置

摘要

一种三维测定装置，其在采用测定对象物的三维形状进行测定时，可缩短测定所需时间。该印刷状态检查装置(1)包括台，该台用于放置印刷有焊糊(H)的印刷基板(K)；构成照射机构的照明器(3)，该照射机构用于对印刷基板(K)的表面，照射相位不同的正弦波状的3个光成分图案；CCD照相机(4)，该CCD照相机(4)构成用于对印刷基板(K)上的，对上述照射的部分进行拍摄的拍摄机构。控制器(7)根据通过照明器(3)的照射而获得的图像数据，由作为平面的印刷基板(K)部的图像数据，获得表示每个光成分的亮度和坐标的关系的曲线图，计算相互的相对相位角度。另外，根据已获得的图像数据和已计算的相对相位角度，采用相位移动法，对焊糊(H)的高度进行运算。

主权项

1.一种三维测定装置，其特征在于该三维测定装置包括：照射机构，该照射机构可相对测定对象物，同时照射具有条纹状的光强度分布，并且具有相互不同的波长成分，相对相位关系不同的至少2个光成分图案；拍摄机构，该拍摄机构可针对每个光成分，将来自照射了上述光成分图案的测定对象物的反射光分离，进行拍摄；运算机构，该运算机构可根据相对相位角度和至少2个图像数据，至少对上述测定对象物的高度进行运算，该相对相位角度指根据上述照射机构所照射的至少2个光成分图案而确定的，上述至少2个光成分图案的相互的相对相位角度，该至少2个图像数据是针对每个光成分，通过上述拍摄机构对来自上述测定对象物的反射光进行拍摄而获得的。