发明名称 Chemisch verstärkende Positiv-Resistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE60107491(D1) 申请公布日期 2005.01.05
申请号 DE2001607491 申请日期 2001.06.21
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD. 发明人 UETANI, YASUNORI;KAMABUCHI, AKIRA;OOHASHI, KENJI
分类号 C07C381/00;C07D333/46;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):C07C381/00 主分类号 C07C381/00
代理机构 代理人
主权项
地址