发明名称 搬送系统之控制装置
摘要 本发明之搬送设备控制装置,系为决定从属搬送出发地站点的储存库前移载点将半导体晶圆搬送至属搬送目的地站点的另一储存库前移载点的台车的搬送路径的装置。该装置包含:基于储存库前移载点与分叉点的配置来决定从搬送出发地站点至搬送目的地站点的搬送路径的决定模组;基于决定模组计算出所决定的搬送路径的搬送负载量的算出模组;当算出的负载量超过预先规定的临限值时制成阻塞资讯的制成模组;在台车每次到达分叉点时,考虑阻塞资讯而再设定从到达的分叉点至搬送目的地站点的搬送通路的设定模组。
申请公布号 TWI225840 申请公布日期 2005.01.01
申请号 TW092121968 申请日期 2003.08.11
申请人 瑞萨科技股份有限公司 发明人 大塚浩文;有昌史
分类号 B65G1/00;B65G49/06;B65G49/07;G05D1/02 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路三段三四六号一一一二室
主权项 1.一种搬送系统之控制装置,系为于含有复数个分 叉点、连接上述分叉点彼此的搬送通路、设于上 述分叉点间的站点及移动在从出发站点至抵达站 点的上述搬送通路上的台车的搬送系统中,控制着 上述复数辆台车的移动控制装置,其包含有: 第1记忆部,记忆着上述分叉点与上述站点的位置 关系; 第1算出模组,基于上述位置关系算出从上述出发 站点至上述抵达站点的移动上述台车的搬送通路; 制成模组,制成上述算出的搬送通路的表示搬送状 态的资讯; 第2记忆部,记忆着藉由上述制成模组所制成的表 示复数辆台车的搬送状态的资讯; 第2算出模组,在上述台车到达上述所算出的含于 搬送通路内的分叉点时,基于记忆于上述第2记忆 部的资讯,算出从上述到达之分叉点至上述抵达站 点的台车的搬送通路;及 控制模组,制成藉由上述第2算出模组所算出的搬 送通路的表示搬送状态的资讯,以记忆于上述第2 记忆部的方式来控制上述制成模组及上述第2记忆 部。 2.如申请专利范围第1项之搬送系统之控制装置,其 中,上述制成模组系包含计算出上述所算出的搬送 通路的负载量,来制成表示搬送状态的资讯的模组 ; 上述第2算出模组系包含基于记忆于上述第2记忆 部的负载量,算出从上述到达之分叉点至上述抵达 站点的上述台车的搬送通路的模组; 上述控制模组系包含计算出由上述第2算出模组所 算出的搬送通路的负载量,制成表示搬送状态的资 讯予以记忆,以控制上述制成模组及上述第2记忆 部的模组。 3.如申请专利范围第2项之搬送系统之控制装置,其 中,上述第2算出模组系包含基于记忆于上述第2记 忆部的负载量,算出绕过上述负载量高于预先规定 的临限値的搬送通路,从上述到达之分叉点至上述 抵达站点的上述台车的搬送通路的模组。 4.如申请专利范围第1项之搬送系统之控制装置,其 中,上述制成模组系包含检测出上述所算出的搬送 通路的分叉点间的表示通过禁止的资讯,来制成表 示搬送状态的资讯的模组; 上述第2算出模组系包含基于记忆于上述第2记忆 部的表示通过禁止的资讯,算出从上述到达之分叉 点至上述抵达站点的上述台车的搬送通路的模组; 上述控制模组系包含检测出由上述第2算出模组所 算出的搬送通路的分叉点间的表示通过禁止的资 讯,制成表示搬送状态的资讯予以记忆,以控制上 述制成模组及上述第2记忆部的模组。 5.如申请专利范围第4项之搬送系统之控制装置,其 中,上述第2算出模组系包含基于记忆于上述第2记 忆部的表示通过禁止的资讯,算出绕过上述通过禁 止的分叉点间的搬送通路,从上述到达之分叉点至 上述抵达站点的上述台车的搬送通路的模组。 6.如申请专利范围第1项之搬送系统之控制装置,其 中,上述第1算出模组及上述第2算出模组,包含依据 预定的条件来计算出移动上述台车的搬送通路的 模组。 7.如申请专利范围第6项之搬送系统之控制装置,其 中,上述预定的条件系为移动上述台车的搬送通路 的搬送距离为最短的条件。 8.如申请专利范围第6项之搬送系统之控制装置,其 中,上述预定的条件系为移动上述台车的搬送通路 的搬送时间为最短的条件。 9.如申请专利范围第6项之搬送系统之控制装置,其 中,上述预定的条件系为在移动上述台车的搬送通 路而通过的站点数为最少的条件。 10.如申请专利范围第1项之搬送系统之控制装置, 其中,上述控制装置又包含记忆搬送的优先度的第 3记忆部, 上述第1算出模组及上述第2算出模组,系依上述第3 记忆部所记忆的优先度的高低顺序,来计算出移动 上述台车的搬送通路。 11.如申请专利范围第1项之搬送系统之控制装置, 其中,上述搬送系统的台车包含地板面行走型及天 花板行走型的任一者的台车。 图式简单说明: 图1为本发明之实施形态之搬送系统之系统构成图 。 图2为将图1之系统构成图的局部放大的图。 图3为在图1之系统构成图记载储存库及移载站点 名的图。 图4为在图1之系统构成图记载分叉站点名及停止 站点名的图。 图5为显示储存库的构成的立体图。 图6为表示记忆于搬送设备控制装置之记忆部的搬 送要求表格的图。 图7为表示记忆于搬送设备控制装置之记忆部的台 车资料表格的图。 图8为表示记忆于搬送设备控制装置之记忆部的搬 送路径表格的图。 图9为表示记忆于搬送设备控制装置之记忆部的搬 送距离表格的图。 图10为表示记忆于搬送设备控制装置之记忆部的 搬送路径选择规则的图。 图11为表示记忆于搬送设备控制装置之记忆部的 空载台车要求区域设定表格的图。 图12为表示记忆于搬送设备控制装置之记忆部的 空载台车回绕路径设定表格的图。 图13及图14为显示由搬送设备控制装置之控制部所 执行的实载台车搬送处理的控制步骤顺序的流程 图。 图15及图16为显示由搬送设备控制装置之控制部所 执行的空载台车回送处理的控制步骤顺序的流程 图。 图17为显示由搬送设备控制装置之控制部所执行 的台车预约处理的控制步骤顺序的流程图。
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