| 发明名称 |
Vacuum-processing chamber-shield and multi-chamber pumping method |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US2004262155(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.30 |
| 申请号 |
US20030607141 |
申请日期 |
2003.06.26 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
LOMBARDI MICHAEL J;REYNOLDS GLYN J;FOSTER ROBERT F;ROWAN ROBERT C;TURNER FREDERICK T |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/54;C23C14/56;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
