发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Regelung des spezifischen Widerstandes von ultra reinem Wasser
摘要
申请公布号 DE60107184(D1) 申请公布日期 2004.12.23
申请号 DE2001607184 申请日期 2001.09.26
申请人 DAINIPPON INK AND CHEMICALS, INC. 发明人 KAMBE, TOSHIO;OI, KAZUMI;SAKAI, KAZUNARI;KAWASE, KOJI
分类号 C02F1/68;B01D61/00;B01F3/04;B01F5/04;C02F1/44;(IPC1-7):B01F3/04;B01F1/00;H01L21/02;H01L21/304;B01D61/14;B01D61/22 主分类号 C02F1/68
代理机构 代理人
主权项
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