| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von Isolationsgraben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69533773(D1) |
申请公布日期 |
2004.12.23 |
| 申请号 |
DE19956033773 |
申请日期 |
1995.03.31 |
| 申请人 |
CO.RI.M.ME. CONSORZIO PER LA RICERCA SULLA MICROELETTRONICA NEL MEZZOGIORNO, CATANIA |
发明人 |
ZAMBRANO, RAFFAELE |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/082;H01L27/088;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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