| 发明名称 |
FIELD-ASSISTED FUSION BONDING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1488448(A2) |
申请公布日期 |
2004.12.22 |
| 申请号 |
EP20030726112 |
申请日期 |
2003.03.25 |
| 申请人 |
NORTHROP GRUMMAN CORPORATION |
发明人 |
STEWART, ROBERT, E. |
| 分类号 |
B81C1/00;B81C3/00;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/285;H01L21/326;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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