抗反射涂层用组合物、聚合物和其制法、以及形成薄膜图形的方法

摘要

公开了一种适合用于超微平版印刷的抗反射薄膜组合物，包括一种含如下化学通式11的化合物作为交联剂和生色团及如下化学通式12的化合物。本发明的有机抗反射薄膜有效吸收通过涂于抗反射薄膜上的光刻胶薄膜渗透的光，由此大大降低驻波影响。因此，本发明的有机抗反射薄膜可形成清晰的超细轮廓的图形，大大有助于半导体元件的高集成。其中：a，b和c为摩尔数，其满足条件：比例a∶b为0.1-1.0∶0.1-1.0和c为1；R′和R″独立地为氢或甲基；R₁、R₂和R₄为相同或不同的，各自表示含1-5个碳原子的取代或未取代的线性或支化烷基；和R₃为氢或含1-5个碳原子的取代或未取代的线性或支化烷基。∴∴

主权项

1.一种以下述化学通式11表示的化合物，该化合物的分子量为4,000-12,000：式11其中：a和b分别为摩尔数，其满足条件：比例a∶b为0.1-1.0∶0.1-1.0；R′为氢或甲基；R₁和R₂为相同或不同的，各自表示含1-5个碳原子的取代或未取代的线性或支化烷基；和R₃为氢或含1-5个碳原子的取代或未取代的线性或支化烷基。