发明名称 OFEN FÜR MINIPARTIE
摘要
申请公布号 DE60008581(T2) 申请公布日期 2004.12.16
申请号 DE20006008581T 申请日期 2000.11.29
申请人 WAFERMASTERS INC., SAN JOSE 发明人 YOO, SIK
分类号 H01L21/22;C30B31/12;C30B35/00;H01L21/00;H01L21/324;(IPC1-7):C30B31/12 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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