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发明名称
OFEN FÜR MINIPARTIE
摘要
申请公布号
DE60008581(T2)
申请公布日期
2004.12.16
申请号
DE20006008581T
申请日期
2000.11.29
申请人
WAFERMASTERS INC., SAN JOSE
发明人
YOO, SIK
分类号
H01L21/22;C30B31/12;C30B35/00;H01L21/00;H01L21/324;(IPC1-7):C30B31/12
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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