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经营范围
发明名称
SIDE ETCHING AMOUNT CONTROL METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0358416(A)
申请公布日期
1991.03.13
申请号
JP19890194523
申请日期
1989.07.27
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KO TATSUICHI;OSHIMA JIRO
分类号
H01L29/73;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/331;H01L29/732
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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