半导体装置及其制造方法

摘要

在半导体装置和半导体装置的制造方法中，象素部分205的源极电线126是由低阻的材料(具有代表性的是铝，银，铜)而形成的。驱动电路的源极电线是在与象素部分的栅极电线162和象素电极163相同的形成过程中形成的。

主权项

1.一种液晶显示器的制造方法，包括：在绝缘表面上形成半导体层；在上述半导体层上形成第一绝缘膜；在上述第一绝缘膜上形成栅电极；使用上述栅电极作为掩模将提供n型的第一杂质元素以第一浓度掺杂到上述半导体层中，以形成第一n型杂质区域；蚀刻上述栅电极以形成一锥形栅电极部；将提供n型的第二杂质元素以小于所述第一浓度的第二浓度掺杂到具有第一n型杂质区域的半导体层中，同时穿过上述锥形栅电极部以此在第一n型杂质区域和沟道形成区域之间形成第二n型杂质区域；形成第二绝缘膜以覆盖上述栅电极；以及在上述第二绝缘膜上形成一导线。