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发明名称
POSITIONSDETEKTOREINRICHTUNG MIT VARIABLER REAKTANZ
摘要
申请公布号
AT282816(T)
申请公布日期
2004.12.15
申请号
AT20000953735T
申请日期
2000.07.26
申请人
GSI LUMONICS, INC.
发明人
NUSSBAUM, MICHAEL, B.
分类号
G01D5/24;G01R29/26;(IPC1-7):G01D5/24;G01R27/26
主分类号
G01D5/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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