发明名称 PROCEDE D'OBTENTION D'UNE STRUCTURE COMPRENANT AU MOINS UN SUBSTRAT ET UNE COUCHE ULTRAMINCE
摘要 <P>L'invention concerne un procédé d'obtention d'une structure comprenant au moins un substrat support (3), une couche ultramince issue d'un substrat source (1) notamment en matériau semi-conducteur et éventuellement une couche intercalaire et comprenant les étapes consistant à :a) coller par adhésion moléculaire un substrat support (3) sur la face avant (10) d'un substrat source (1) qui présente une zone de fragilisation (12) délimitant une couche utile (13) à transférer dont l'épaisseur est notablement plus grande que celle de ladite couche ultramince (130),b) détacher ledit substrat support (3) du reste (14) du substrat source (1), le long de ladite zone de fragilisation (12), de façon à obtenir une structure intermédiaire comprenant au moins ladite couche utile (13) transférée et ledit substrat support (3),c) procéder à l'amincissement de ladite couche utile (13) transférée jusqu'à obtenir ladite couche ultra mince.Application à la fabrication de substrats dans les domaines de l'électronique, l'optoélectronique ou l'optique.</P>
申请公布号 FR2855908(A1) 申请公布日期 2004.12.10
申请号 FR20030006843 申请日期 2003.06.06
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 AULNETTE CECILE;BATAILLOU BENOIT;GHYSELEN BRUNO;MORICEAU HUBERT
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/302 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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