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发明名称 EINRICHTUNG ZUM PLASMAGESTÜTZTEN ELEKTRONENSTRAHL-HOCHRATEBEDAMPFEN
摘要
申请公布号 AT139268(T) 申请公布日期 1996.06.15
申请号 AT19930918893T 申请日期 1993.08.18
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 NEUMANN, MANFRED;SCHILLER, SIEGFRIED;MORGNER, HENRY
分类号 C23C14/30;C23C14/10;C23C14/32;C23C14/54;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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